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通
度
读数
输出飘移
工作电源
输出方式模拟电压
工作温度
工作湿度（无结冰、无凝露）
可拆式软管接头
空气（或其他气体），
重量
产品特点：
- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高精度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快
主要参数：
性能参数 FS4001 单位
通 径 1.0 1.8 mm
大流量 30, 100, 200 500, 1000 SCCM
量程比 ≥100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重复性 0.25 %读数
零点输出飘移 ±30 mV
输出飘移 ±0.12 %/oC
响应时间 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 mses
工作电源 8~18Vdc,50mA
输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
大流量压损 350 300 pa
大工作压力 0.5 MPa
工作温度 -10 ~ +55 oC
存储温度 -20 ~ +65 oC
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口 可拆式软管接头
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
重量 15 g