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FS4003
FS4008DMEMS
FS40035SLPM
FS400850SLPM
FS40083mm100:1
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RS232/20oCR1/4,BSPT1/44mm68)
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氧气氮气空气二氧化碳实验室微气体测漏微型流量计FS4003
产品概述:
FS4003微型气体流量计FS4008气体质量流量传感器产品概述:
FS4000气体质量流量传感器采用世界领宣的微机电系统（DMEMS）流量传感器技术和智能电子控制技术，专为普通气体流量监测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，低压损。适用于净化空气或氮气流量二氧化碳监控，还可用于环境采样器（如色谱分析仪器等）
FS4003气体质量流量传感器，管道内径为3mm，成本低测量范围大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围大到50SLPM；可用于设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
FS4008产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计
- 支持多种连接方式，易于安装与使用
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
- 零点稳定度高
- 全量程高稳定性、高精度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
产品特点:
性能参数 FS4003 FS4008 单位
通 径 3 8 mm
大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM
量程比 100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重复性 0.75 %
零点输出飘移 ±30 mV
输出飘移 0.12 %/oC
响应时间 100 ms
工作电源 8~18Vdc,100mA
输出方式 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
大流量压损 100 600 pa
大工作压力 0.5 MPa
工作温度 -10 ~ +55 oC
存储温度 -20 ~ +65 oC
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口 BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
重量 57（带R1/4,BSPT1/4接口）
71(带4mm，8mm快速接口，68（带6mm快速接头) g